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    201 态度 (第2/3页)

度上嘛，还算可以，多次进行了小规模试验，调整的配方比例也在光化学反应性能上有明显的提升。

    只是，这种提升还达不到理想的状态，等到走出实验室，扩大到中试规模，工艺流程的工业化适应性评估就出现了问题。

    这便没法大脚步的再往下走，况且，后面也有不少关隘，要搞长时间存储稳定性和批次间一致性测试，要做晶圆厂兼容性验证，必须得确保光刻胶和冰芯的生产工艺无缝对接，还得做大量重复性与可靠性测试。

    如此这些，最后还要建立稳定的生产工艺，保证大规模生产的每一批次的光刻胶性能一致。

    “芯材走在了正确的路上。”

    这是来自晶圆制造联盟的评价。

    可惜，眼下的局面略显急迫。

    阿美严选的压力已经施加过来，后续追加措施也隐约可见，鉴于如此形势，冰芯希望“芯材”可以先进行厂区的投资与建设，只要ArF出了成果，初期的成本高一些都没问题。

    但是，南大光电、芯刻微材料、新阳等参与研发的公司不太想同意这样的冒进。

    “张总，我们的上一次测试结论已经出来了，现有工艺不适合大规模生产，现在最重要的还是找出问题，看看怎么精细调整配方中的各组分比例，不然没法保持相同的化学性质和光刻性能……这个时候说什么建厂不建厂……”南大光电驻芯材的研发组长李亚磊吞吞吐吐的说道，“不合适啊。”

    张汝京一皱眉，没等反驳就听到另一家企业负责人伍彦杰的声音。

    “是啊，张总，咱们这个不适合大上快上，后面做验证的过程里本来就容易存在未知数，我理解冰芯的急切，可是，这事，它急不得啊！”伍彦杰苦口婆心。

    张汝京听到这两位的话，又见办公室里的其他人不出声，他缓缓说道：“建厂不耽误你们寻找问题，调整配方，你们搞你们的，现在就是合资建厂，两线并举。”

    伍彦杰见老头冥顽不灵，无奈道：“张总，这又不是你的中芯，不能搞大上快上啊，搞不出来合适的产品，厂子没效益，你们财大气粗，我们不行啊。”

    中芯当年的发展速度很快，搞出了多地布局的战略，后来随着与台记官司的败诉，又碰见金融危机，不得不割肉收缩。

    张汝京没有生气，耐着性子的说道：“形势不一样了，芯材做了两年多，晶圆制造联盟帮忙找资源，冰芯和大基金跟着

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